• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Особенности гетерогенных пленок

Гетерогенные пленки CrFe обладают сравнительно большим относительным магнетосопротивлением (около 37,3%) при температуре 4,2 К в магнитном поле 14 Тл. Эти пленки осаждались высокочастотным ионно-плазменным способом на кремниевые подложки с разной температурой: одни подложки охлаждались жидким азотом, а другие - нагревались до 200 °С. Напылялись пленки разного состава: содержание железа варьировалось от 0 до 40% (ат.). Относительное магнетосопротивление определялось при низкой температуре (4,2 К) в довольно сильном магнитном поле, созданном сверхпроводящим электромагнитом и равным 14 Тл.

Магниторезистивные свойства рассматриваемых пленок существенно зависят от состава и температуры подложки. Кривые зависимости относительного магнетосопротивления от процентного содержания железа проходят через максимумы для пленок, осажденных и на охлажденные, и на нагретые подложки. Оба максимума соответствуют примерно одному и тому же составу пленок - 20% (aT.)Fe, но максимум ∆р/р для пленок CrFe с нагретыми до 200 °С при напылении подложками составляет 37,3%, а с охлажденным и жидким азотом - гораздо меньше - около 25%.

Температура подложки почти не влияет на величину ∆р/р для пленок с содержанием железа от 20 до 40% (ат.). В то же время для пленок CrFe, содержащих 0-20% (ат.) железа, относительное магнетосопротивление заметно больше с нагретыми, чем с охлажденными при осаждении подложками.

В тонкопленочных образцах 83,9%Сг, 16,1 %Fe, осажденных на нагретые подложки, наблюдались довольно крупные кристаллические зерна - размером до 200 нм. Для образцов 83,1%Сг, 16,9%Fe, напыленных на охлажденные подложки, размер таких зерен гораздо меньше - всего лишь 70 нм. На крупных кристаллитах образцов 83,9%Сг, 16,1 %Fe различались небольшие пятна - размером до 2 нм. Предполагается, что такие пятна обусловливаются наличием обогащенной железом фазы.

Таким образом, варьируя состав пленок и технологические параметры их осаждения, можно получить однослойные гетерогенные тонкопленочные материалы с относительно большим магнетосопротивлением.

Технологии и фундаментальные знания

Технология - совокупность методов обработки, изготовления, изменения состояния, свойств, формы сырья или полуфабрикатов...

читать далее

Начало развития твердотельной электроники

Толчком для развития твердотельной электроники послужили долгое время необъяснимые физические загадки, называемые...

читать далее

В последнее время широко используется силицидная технология, включающая операцию осаждения тонкого слоя титана...

читать далее