• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Зависимости железо- и кобальтсодержащих материалов

С возрастанием числа оборотов вращения подложки в процессе напыления магниторезистивных образцов FeAlO средний размер кристаллических зерен железа уменьшался примерно по линейному закону (рис. 8.10). При этом концентрация алюминия изменялась незначительно. В зернах железа наблюдались линии, характерные для объемноцентрированной кубической структуры. В напыленных образцах CoAlO преобладала кристаллическая структура - гексагональная с плотной упаковкой и гранецентрированная кубическая.


Увеличение среднего размера r зерен железа в образцах FeAlO от 1,6 до 2,0 нм заметно не влияет на удельное электрическое сопротивление р и относительное магнетосопротивление ∆р/р данных образцов, полученных при потребляемой мощности для осаждения железа и Аl2O3, соответственно равной 140 и 200 Вт (рис. 8.11). Однако при дальнейшем увеличении г примерно от 2 до 2,3 нм убывают и удельное электрическое сопротивление, и относительное магнетосопротивление.



Рис. 8.11. Изменения удельного электрического сопротивления и относительного магнетосопротивления в зависимости от размеров зерен

С увеличением температуры подложки Тn при осаждении тонкопленочных образцов FeAlO монотонно возрастает удельное электрическое сопротивление р и относительное магнетосопротивление ∆р/р (рис. 8.12). На этом рисунке представлены экспериментальные данные для скорости вращения подложки в процессе напыления, равной 11,5 об/мин. Также монотонно возрастает и намагниченность 4nМ, которая определялась во внешнем поле напряженностью 400 кА/м (рис. 8.13).



Рис. 8.12. Зависимость удельного электрического сопротивления и относительного магнетосопротивления от температуры подложки



Рис. 8.13. Возрастание намагниченности с увеличением температуры подложки

Гранулированная структура наблюдалась и в магниторезистивных образцах CoAlO, осажденных реактивным ионно-плазменным методом в смеси газов аргона и кислорода. Осажденные образцы имели состав: Со(46%), Аl( 19%), 0(35%).

Исследовались температурные зависимости их удельного электрического сопротивления и относительного магнетосопротивления. С увеличением температуры Т примерно от 4 до 300 К удельное электрическое сопротивление р образцов монотонно уменьшалось примерно от 108 до 105 мкОм*см. Для тех же образцов в интервале температур от 4 до 80 К термический отжиг, произведенный при 300 °С в течение одного часа и 6 ч привел к заметному уменьшению величины р, которая уменьшилась с увеличением времени отжига до 38 ч при той же температуре отжига, но в более широком интервале температур вплоть до 200 К.


Относительное магнетосопротивление ∆р/р неотожженных образцов Со(46%), А1(19%), 0(35%) монотонно убывает приблизительно от 14% до 8% с повышением температуры T от 4 до 300 К (рис. 8.14). Термический отжиг привел к уменьшению величины ∆р/р для данного интервала температур. С увеличением времени отжига относительное магнетосопротивление уменьшалось. Например, для времени отжига 38 ч при температуре около 300 К оно составило примерно 4%.

Таким образом, гранулированная структура мажет быть сформирована различными способами напыления. Магнитные и магниторезистивные свойства тонкопленочных материалов с такой структурой зависят от их состава, размеров гранул, технологических условий осаждения, температуры отжига и т.п., что очень важно при изготовлении магниторезистивных элементов высокочувствительных преобразователей.

Мультимедийная среда

В 90-е годы XX в. на базе персональных компьютеров созданы мультимедийные системы. Мультимедиа - это объединение нескольких...

читать далее

Понятие литографии

Современная технология интегральных схем включает следующие операции. Вначале верхний слой кремниевой пластины...

читать далее

Попытки создания квантового компьютера

Основные проблемы создания квантового компьютера вытекают из его природы: чтобы решить какую-либо задачу, необходимо...

читать далее