• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Получение тонкопленочных материалов

Получение тонкопленочных материалов
По мере увеличения размера зерен l удельное электрическое сопротивление р тонкопленочных образцов FeAlO монотонно уменьшается (рис. 8.16). При возрастании величины зерен l тех же образцов от 1,5 до 2,5 нм относительное магнетосопротивление ∆р/р убывает приблизительно от 4 до 2,5% (рис. 8.17).

Температура подложки Tn в процессе напыления существенно влияет на электрические (рис. 8.18), магниторезистивные (рис. 8.19) и магнитные (рис. 8. 20) свойства тонкопленочных образцов FeAlO с гранулированной структурой, осажденных при скорости вращения 11,5 обор./мин. При увеличении температуры подложки от комнатной до 500 °С удельное электрическое сопротивление р возрастает почти на порядок (см. рис. 8.18), а относительное магнетосопротивление ∆р/р, измеренное в магнитном поле напряженностью от 5,2 до 7 кГс (см. рис. 8.20), что можно объяснить появлением магнитных примесей в промежуточных областях Аl2O3.



Рис. 8.16. Влияние величины зерен на удельное электрическое сопротивление
Рис. 8.17. Зависимость относительного магнетосопротивления от величины зерен






Рис. 8.20. Влияние температуры подложки на намагниченность тонкопленочных образцов

Таким образом, при формировании гранулированных пленок с туннельным переходом при изменении технологических параметров (скорости вращения, температуры подложки) можно получить тонкопленочные материалы с разными электрическими, магниторезистивными и магнитными свойствами.

Унификация информационных технологий

Удовлетворение возрастающих потребностей общества при неуклонном росте народонаселения земного шара требует...

читать далее

Изучая свойства кристаллического детектора, наш соотечественник, выдающийся радиофизик О.В. Лосев (1903-1942), обнаружил на вольт-амперной...

читать далее

Создание слоев на интегральных микросхемах

Для формирования барьерных слоев все чаще используют тонкие пленки нитрида титана. Однако современная технология...

читать далее