• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Получение тонкопленочных материалов

Получение тонкопленочных материалов
По мере увеличения размера зерен l удельное электрическое сопротивление р тонкопленочных образцов FeAlO монотонно уменьшается (рис. 8.16). При возрастании величины зерен l тех же образцов от 1,5 до 2,5 нм относительное магнетосопротивление ∆р/р убывает приблизительно от 4 до 2,5% (рис. 8.17).

Температура подложки Tn в процессе напыления существенно влияет на электрические (рис. 8.18), магниторезистивные (рис. 8.19) и магнитные (рис. 8. 20) свойства тонкопленочных образцов FeAlO с гранулированной структурой, осажденных при скорости вращения 11,5 обор./мин. При увеличении температуры подложки от комнатной до 500 °С удельное электрическое сопротивление р возрастает почти на порядок (см. рис. 8.18), а относительное магнетосопротивление ∆р/р, измеренное в магнитном поле напряженностью от 5,2 до 7 кГс (см. рис. 8.20), что можно объяснить появлением магнитных примесей в промежуточных областях Аl2O3.



Рис. 8.16. Влияние величины зерен на удельное электрическое сопротивление
Рис. 8.17. Зависимость относительного магнетосопротивления от величины зерен






Рис. 8.20. Влияние температуры подложки на намагниченность тонкопленочных образцов

Таким образом, при формировании гранулированных пленок с туннельным переходом при изменении технологических параметров (скорости вращения, температуры подложки) можно получить тонкопленочные материалы с разными электрическими, магниторезистивными и магнитными свойствами.

Век информации

Одна из важнейших проблем наступившего века - информационное обеспечение общества. Накопление и потребление информации...

читать далее

Нейронные сети

С начала 80-х годов XX в. прогресс вычислительной техники многие исследователи связывают с созданием искусственных...

читать далее

Тенденция к усложнению интегральных схем

Многие годы в производстве интегральных схем ведущей была технология МОП-транзисторных схем. Для специальных применений...

читать далее