• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Электронная и рентгеновская литография

Электронная и рентгеновская литография
Электронная литография основана на сканировании электронного луча по пластине. Она широко применяется для производства масок. Однако за исключением первых модификаций интегральных схем и некоторых схем специального назначения она не используется для прямого нанесения рисунка на пластину из-за чрезвычайно низкой производительности.

Требования к литографическим процессам чрезвычайно высоки (табл. 2.1).


Различают два вида рентгеновской литографии - контактную и проекционную. В контактной рентгеновской литографии изображение маски переносится на пластину в масштабе 1:1. При этом пластина располагается на расстоянии 5-50 мкм от маски. Экспонируемая область соответствует размерам одного кристалла, и вся пластина обрабатывается, как в традиционной оптической установке пошагового экспонирования (степпере). Обычно в экспериментальных установках используются источники рентгеновского излучения с длиной волны 0,4-2 нм.

Перспективными источниками рентгеновского излучения считаются синхротронные накопительные кольца разных диаметров. Несмотря на огромные средства, вложенные в разработку, технология рентгеновской литографии остается пока на стадии исследования. В последнее время большое внимание уделяется разработке установок проекционной рентгеновской литографии в диапазоне длин волн 13-18 нм, который принято называть мягким рентгеновским или экстремально глубоким ультрафиолетовым. Выбор диапазона обусловлен двумя факторами: возможностью создания объектива с пространственным разрешением менее 0,1 мкм и глубиной фокуса более 0,5 мкм с помощью многослойных зеркал с высоким коэффициентом отражения (рис. 2.3).


Один из источников мягкого рентгеновского излучения - лазерно-плазменная установка. Она гораздо дешевле накопительных колец синхротрона. В качестве альтернативы оптической системе разрабатываются степпер с уменьшением изображения маски и установки экспонирования при синхронном сканировании маски и подложки (степпер-сканер). Одновременно ведется поиск материалов для рентгенорезистов с высокой чувствительностью в узком диапазоне длин волн.

Будущее магнитных носителей

В развитии современного общества важнейшую роль играют накопление и рациональное потребление информации. Суммарное...

читать далее

Микро- и наноэлектроника

Характерная особенность современного естествознания - рождение новых, быстро развивающихся наук на базе фундаментальных...

читать далее

В последнее время широко используется силицидная технология, включающая операцию осаждения тонкого слоя титана...

читать далее