• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Ионно-пучковая литография

Для формирования элементов шириной менее 0,12 мкм предпочтительна проекционная ионно-пучковая литография, позволяющая использовать электростатическую оптику для экспонирования изображения маски на пластину с уменьшением. Кроме того, возможно электронно-лучевое совмещение проецируемого изображения на пластине с нанометровой точностью. Разрешение при этом ограничивается не длиной волны, которая довольно мала, а искажениями, вносимыми оптической системой. Глубина проникновения ионов в слой резиста на порядок меньше, чем электронов, что исключает радиационное повреждение подложки.

Эксперименты, выполненные на ионной проекционной литографической установке с пятикратным уменьшением, показали, что в поле линз ионы водорода или гелия ускоряются до энергии 55 кэВ, а электростатическая оптика обеспечивает экспонирование поля 8 • 8 нм2. При этом достигается разрешение менее 0,1 мкм, сравнительно большая глубина фокусировки - около 100 мкм, достаточно точное электронно-лучевое совмещение и высокая производительность (60 пластин диаметром 200 нм в час) при отсутствии радиационных повреждений подложки.

В последнее время проводятся всесторонние исследования и ионно-пучковой, и рентгеновской, и электронной литографии. Полученные в ближайшем будущем экспериментальные результаты исследования таких литографических процессов и свойств используемых новых материалов могут оказаться решающими при выборе производственной технологии.

Суперкомпьютеры

Высокопроизводительные вычислительные системы, суперЭВМ, принято считать форпостом компьютерной техники. Они в значительной...

читать далее

Интегральная схема

В современном представлении интегральная схема - конструктивно законченное изделие электронной техники, содержащее...

читать далее

Туннельно-резонансные диоды

К наноэлектронным приборам относятся туннельно-резонансные диоды. По структуре они напоминают своеобразный сэндвич...

читать далее


Купите ноутбук недорого по выгодной цене. Дисконт. Акции. Доставка
pc-digger.com