• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Тонкопленочные материалы FeTaN

Результаты экспериментальных исследований пленок FeTaN с содержанием 10,5-11,5% (ат.) Та и 8,5-14,5% (ат.) N показали, что для них характерны чрезвычайно малая коэрцитивная сила и сравнительно высокие магнитная проницаемость и намагниченность насыщения.

Исследуемые тонкопленочные образцы толщиной 0,1-7 мкм напылялись высокочастотным ионно-плазменным способом на керамические подложки в атмосфере смеси газов азота и аргона при мощности 400 Вт и полном давлении 1,6 Па. Напыленные пленки подвергались термообработке в вакууме при температуре 300-700 °С в течение одного часа. Термообработка производилась как без магнитного поля, так и в магнитном поле напряженностью 48 кА/м, приложенном в плоскости тонкопленочных образцов.

Как показали измерения, коэрцитивная сила пленок FeTaN зависит от их толщины. Так, при увеличении толщины пленок, содержащих 10,5% (ат.)Та и 13% (ат.) N, от 0,1 до 2 мкм коэрцитивная сила уменьшается примерно от 200 до 10 А/м. Пленки подвергались термообработке при 550 °С без магнитного поля. Аналогично получены такие же по характеру толщинные зависимости коэрцитивной силы тонкопленочных образцов, подвергнутых термообработке в статическом и вращающемся магнитных полях. Однако кривая толщинной зависимости коэрцитивной силы для отожженных во вращающемся магнитном поле тонкопленочных образцов FeTaN проходит несколько выше аналогичной кривой для отожженных в статическом поле тех же образцов. Для интервала толщин 0,1—2 мкм наибольшую коэрцитивную силу имеют образцы FeTaN, отожженные без магнитного поля. Увеличение толщины этих образцов от 2 до 5 мкм не привело к заметному изменению коэрцитивной силы.

С увеличением толщины пленок FeTaN значительно возрастает их магнитная проницаемость. Так, для пленок FeTaN, подвергнутых отжигу в статическом магнитном поле, по мере возрастания толщины от 0,1 до 2 мкм магнитная проницаемость на частоте 1 МГц существенно увеличивается и почти не изменяется при дальнейшем увеличении толщины. Однако на частоте 10 МГц магнитная проницаемость заметно уменьшается по мере возрастания толщины от
2 до 5 мкм.

Компьютерная сеть

Возможности персонального компьютера существенно расширяются за счет использования компьютерных сетей...

читать далее

Перспективные технологии

До недавнего времени микроэлектронная технология основывалась на удалении лишнего материала из заготовки подобно тому...

читать далее

Транзистор в виде атомного реле

Весьма интересна идея создания своеобразного транзистора в виде атомного реле, основанная на том, что минимальными...

читать далее