• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Свойства тонкопленочных материалов FeTaN

Для тонкопленочных образцов FeTaN, подвергнутых отжигу во вращающемся магнитном поле и без него, магнитная проницаемость в рассматриваемом интервале толщин заметно меньше, чем для отожженных в статическом магнитном поле тех же образцов. Термообработанные в статическом магнитном поле тонкопленочные образцы FeTaN обладают одноосной наведенной анизотропией (измерение их магнитных параметров производилось в направлении, перпендикулярном оси легкого намагничивания). Поле анизотропии этих анизотропных пленок монотонно уменьшается примерно от 110 до 46 А/м при возрастании угла между направлением измерений и осью трудного намагничивания.
Тонкопленочные образцы FeTaN, подвергнутые отжигу во вращающемся магнитном поле и без него, имеют относительно небольшое поле анизотропии, равное около 50 А/м и незначительно изменяющееся для разных направлений измерений, что свидетельствует о преобладании изотропных магнитомягких свойств отожженных образцов.

Магнитная проницаемость пленок FeTaN при возрастании содержания азота от 8,5 до 14,5% (ат.) монотонно падает примерно от 3000 до 2200. Измерения производились вдоль оси легкого намагничивания после термообработки в статическом магнитном поле. Каких-либо существенных изменений магнитной проницаемости при увеличении концентрации азота для тех же образцов вдоль оси трудного намагничивания не наблюдалось.

Магнитострикция насыщения рассматриваемых пленок с возрастанием концентрации азота в указанном диапазоне приближается от -2*10-6 к нулевому значению. Предполагается, что магнитострикция не вносит значительного вклада в одноосную наведенную анизотропию тонкопленочных образцов FeTaN, подвергнутых отжигу в статическом магнитном поле.

Магнитомягкие свойства пленок FeTaN определяются в значительной степени доменной структурой, зависящей от толщины пленок. Для более толстых пленок наблюдалась характерная полосовая доменная структура с 180-градусными границами. Для пленок сравнительно небольшой толщины (в частности, для пленок толщиной 0,09 мкм) доменная структура имеет более сложный вид: доменные границы приобретают зигзагообразную форму.

С введением бора в состав рассматриваемых железонитридных пленок повышается термостабильность их магнитомягких свойств, что подтверждает зависимость коэрцитивной силы от температуры отжига, произведенного без магнитного поля. Лучший результат получен для пленок FeTaBN с содержанием бора 5% (ат.). Для таких пленок коэрцитивная сила почти не изменяется при увеличении температуры отжига от 400 до 700 °С и близка к нулю, хотя с уменьшением температуры отжига от 400 °С до комнатной коэрцитивная сила монотонно возрастает примерно до 600 А/м. Данную зависимость коэрцитивной силы можно связать с образованием кристаллических зерен a-Fe и Ta(N, В) и их внедрением в аморфную структуру, образующуюся сразу после напыления пленок FeTaBN без термообработки, нарушающей их аморфность. Содержание азота более 5%(ат.) не способствует термостабилизации магнитомягких свойств рассматриваемых пленок.

В последнее время продолжаются исследования технологических условий осаждения магнитных пленок, содержащих не только Та, но и Si, Сu, Hf, влияющие на их магнитные, структурные, износостойкие и другие свойства.

Мультимедийная среда

В 90-е годы XX в. на базе персональных компьютеров созданы мультимедийные системы. Мультимедиа - это объединение нескольких...

читать далее

Понятие литографии

Современная технология интегральных схем включает следующие операции. Вначале верхний слой кремниевой пластины...

читать далее

Попытки создания квантового компьютера

Основные проблемы создания квантового компьютера вытекают из его природы: чтобы решить какую-либо задачу, необходимо...

читать далее