• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Железокобальтовые пленки

Железокобальтовые пленки
Многослойные пленки, содержащие железо и кобальт, а именно пленки FeCo/FeCoN, по магнитомягким свойствам превосходят многие тонкопленочные материалы. Так, для многослойных пленок FeCo/FeCoN с содержанием железа 97,2% (ат.) и кобальта 2,8% (ат.) магнитная индукция насыщения равна 2,0 Тл, коэрцитивная сила - 120 А/м и магнитная проницаемость на частоте 20 МГц более 2200.

Эти пленки напылялись высокочастотным магнетронным способом на стеклянные подложки. Вначале осаждался слой FeCo толщиной 5 или 20 нм в атмосфере аргона при давлении 0,27 Па. Затем напыленный слой выдерживался в течение 0-60 с в плазменной атмосфере азота при давлении 0,13 Па. В результате формировалась нитридная прослойка FeCoN. Потом снова осаждался слой FeCo и подвергался обработке в плазменной атмосфере азота. Далее чередование напыляемых слоев продолжалось до тех пор, пока суммарная толщина многослойной пленки FeCo/FeCoN не достигала 500 нм. Предварительное давление в камере до напыления составляло 10-5 Па. Процесс напыления железокобальтовых слоев осуществлялся при давлении рабочего газа 0,27 Па. Скорость осаждения составляла примерно около 1 нм/с. Рассеиваемая мощность при напылении - 400 Вт. Выдержка напыленных слоев в плазменной атмосфере азота производилась при давлении 0,13 Па и мощности микроволнового излучения, равной 400 Вт. Содержание кобальта в напыляемых слоях варьировалась в пределах 0-50% (ат.). Концентрация железа и кобальта в многослойных пленках определялась с помощью спектроскопа и микроанализатора, а магнитные характеристики - вибрационным магнитометром в магнитном поле напряженностью до 800 кА/м. Для наблюдения кристаллической структуры использовался рентгеновский дифрактометр. Изменение концентрации на разных глубинных уровнях напыленных слоев контролировалась электронным спектроскопом. Наблюдение поперечного сечения многослойных пленок проводилось с помощью сканирующего электронного микроскопа.

Будущее магнитных носителей

В развитии современного общества важнейшую роль играют накопление и рациональное потребление информации. Суммарное...

читать далее

Микро- и наноэлектроника

Характерная особенность современного естествознания - рождение новых, быстро развивающихся наук на базе фундаментальных...

читать далее

Предполагается, что КМОП-схемы могут стать основой для элементной базы даже высокоскоростных микропроцессоров...

читать далее