• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Железокобальтовые пленки

Железокобальтовые пленки
Многослойные пленки, содержащие железо и кобальт, а именно пленки FeCo/FeCoN, по магнитомягким свойствам превосходят многие тонкопленочные материалы. Так, для многослойных пленок FeCo/FeCoN с содержанием железа 97,2% (ат.) и кобальта 2,8% (ат.) магнитная индукция насыщения равна 2,0 Тл, коэрцитивная сила - 120 А/м и магнитная проницаемость на частоте 20 МГц более 2200.

Эти пленки напылялись высокочастотным магнетронным способом на стеклянные подложки. Вначале осаждался слой FeCo толщиной 5 или 20 нм в атмосфере аргона при давлении 0,27 Па. Затем напыленный слой выдерживался в течение 0-60 с в плазменной атмосфере азота при давлении 0,13 Па. В результате формировалась нитридная прослойка FeCoN. Потом снова осаждался слой FeCo и подвергался обработке в плазменной атмосфере азота. Далее чередование напыляемых слоев продолжалось до тех пор, пока суммарная толщина многослойной пленки FeCo/FeCoN не достигала 500 нм. Предварительное давление в камере до напыления составляло 10-5 Па. Процесс напыления железокобальтовых слоев осуществлялся при давлении рабочего газа 0,27 Па. Скорость осаждения составляла примерно около 1 нм/с. Рассеиваемая мощность при напылении - 400 Вт. Выдержка напыленных слоев в плазменной атмосфере азота производилась при давлении 0,13 Па и мощности микроволнового излучения, равной 400 Вт. Содержание кобальта в напыляемых слоях варьировалась в пределах 0-50% (ат.). Концентрация железа и кобальта в многослойных пленках определялась с помощью спектроскопа и микроанализатора, а магнитные характеристики - вибрационным магнитометром в магнитном поле напряженностью до 800 кА/м. Для наблюдения кристаллической структуры использовался рентгеновский дифрактометр. Изменение концентрации на разных глубинных уровнях напыленных слоев контролировалась электронным спектроскопом. Наблюдение поперечного сечения многослойных пленок проводилось с помощью сканирующего электронного микроскопа.

Унификация информационных технологий

Удовлетворение возрастающих потребностей общества при неуклонном росте народонаселения земного шара требует...

читать далее

Изучая свойства кристаллического детектора, наш соотечественник, выдающийся радиофизик О.В. Лосев (1903-1942), обнаружил на вольт-амперной...

читать далее

Создание слоев на интегральных микросхемах

Для формирования барьерных слоев все чаще используют тонкие пленки нитрида титана. Однако современная технология...

читать далее