• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Исследование материалов с пермаллоевыми слоями

При напылении на диффузионный процесс атомов никеля влияет давление аргона, что, естественно, сказывается и на магнитной проницаемости. По мере уменьшения давления аргона от 1,3 до 0,3 Па магнитная проницаемость пленок FeSi/NiFe монотонно возрастает приблизительно от 3700 до 5200. Толщина пермаллоевого и железокремниевого слоев этих пленок равна соответственно 0,02 и 0,18 мкм.

В отличие от магнитной проницаемости, уменьшающейся с возрастанием толщины железокремниевого слоя, коэрцитивная сила монотонно возрастает. Для пленок FeSi/NiFe с толщиной пермаллоевого слоя 0,02 мкм коэрцитивная сила достигает 60 А/м. Компромиссная толщина железокремниевого слоя, составляющая около 0,6 мкм, соответствует магнитной проницаемости 3000 и коэрцитивной силе 40 А/м.

В тех же пленках после термообработки при 500 °С толщинная зависимость коэрцитивной силы существенно изменяется. При начальном увеличении толщины железокремниевого слоя от 0,1 до 0,3 мкм коэрцитивная сила быстро падает от 130 до 60 А/м, и лишь дальнейшее увеличение толщины до 0,8 мкм приводит к незначительному ее возрастанию. В целом же коэрцитивная сила рассматриваемых пленок после термообработки увеличивается. При этом термообработка пленок FeSi/NiFe с толщиной железокремниевого слоя больше 0,6 мкм почти не влияет на коэрцитивную силу. Однако при неизменной толщине железокремниевого слоя коэрцитивная сила пленок FeSi/NiFe, подвергнутых термообработке при 500 °С, зависит от толщины пермаллоевого слоя. С возрастанием толщины слоя NiFe от 0 до 0,1 мкм коэрцитивная сила увеличивается примерно от 15 до 130 А/м, и при дальнейшем возрастании толщины до 0,2 мкм она уменьшается примерно на 10 А/м. В то же время для тех же пленок, не подвергнутых термообработке, коэрцитивная сила практически не изменяется с возрастанием толщины пермаллоевого слоя и остается равной около 20 А/м.

Магнитная проницаемость более резко падает с возрастанием температуры отжига для многослойных пленок FeSi/NiFe с меньшим отношением толщины железокремниевого и пермаллоевого слоев, что можно объяснить влиянием диффузии атомов никеля на магнитные свойства многослойных пленок.

Сочетание железонитридных и пермаллоевых слоев приводит к заметному улучшению магнитомягких свойств многослойных пленок. Например, для многослойных пленок, содержащих железонитридные - (97%Fe,3%Al)1-xNx - и пермалловые - 81%Ni,19%Fe слои,- коэрцитивная сила равна 32 А/м, а поле анизотропии 240 А/м. Их магнитострикция не превышает 10-6 и магнитная индукция насыщения приближается к 2 Тл.

Многослойная структура тонкопленочных образцов (FeAl)N/NiFe формировалась высокочастотным способом напыления материалов FeAl и NiFe. Тонкопленочные слои FeAl осаждались в атмосфере смеси газов аргона и азота (40%) при давлении 0,3 Па, а пермаллоевые слои - в атмосфере чистого аргона.

Мультимедийная среда

В 90-е годы XX в. на базе персональных компьютеров созданы мультимедийные системы. Мультимедиа - это объединение нескольких...

читать далее

Понятие литографии

Современная технология интегральных схем включает следующие операции. Вначале верхний слой кремниевой пластины...

читать далее

Попытки создания квантового компьютера

Основные проблемы создания квантового компьютера вытекают из его природы: чтобы решить какую-либо задачу, необходимо...

читать далее