• Главная
  • rss-лента сайта solo-project.com


Кобальтсодержащие тонкопленочные материалы

Кобальтсодержащие тонкопленочные материалы
Кобальтсодержащие тонкопленочные материалы СоМС, где М - один из элементов: цирконий, гафний или тантал, - обладают не только превосходными свойствами магнитомягкого материала, но и высокой термостабильностью. Среди них особо отличаются пленки CoHfC: после термообработки при температуре 700 °С получены неплохие магнитные параметры: магнитная индукция насыщения 1,3-1,5 Тл, магнитная проницаемость не менее 2000 и коэрцитивная сила не более 40 А/м. Кроме того, данным пленкам свойственна высокая коррозионная стойкость.

Кобальтсодержащие пленки напылялись на частично кристаллизованные стеклянные подложки реактивным высокочастотным магнетронным способом. Для создания реактивной атмосферы использовался газ СН4. После напыления пленки подвергались термообработке при относительно высокой температуре 500-750 °С в атмосфере азота. Термообработка осуществлялась во вращающемся со скоростью 40 мин-1 магнитном поле напряженностью 80 кА/м. Толщина напыленных пленок составляла примерно 2 мкм. При одном и том же процентном содержании М и С магнитная проницаемость μ пленок CoHfC заметно выше, чем тонкопленочных материалов CoZrC и СоТаС. При концентрации гафния 5-11% (ат.) и углерода 15-22% (ат.) μ пленок CoHfC не менее 2000. Магнитная проницаемость измерялась на частоте 5 МГц. С повышением температуры отжига с 500 до 750 °С μ данных пленок монотонно уменьшается примерно от 2800 до 1200. При том же изменении температуры отжига пленок СоТаС и CoZrC μ также уменьшается и заметно меньше, чем пленок CoHfC. При температуре отжига 700 °С μ пленок СоТаС, CoZrC и CoHfC соответственно равна 1200, 1300 и 2500.

Магнитная индукция насыщения Вг пленок CoHfC остается постоянной и равна примерно 1,42 Тл при изменении температуры отжига в пределах 500-750°С. Однако Bs пленок СоТаС заметно меньше Bs пленок CoHfC и составляет примерно 1,32 Тл. Незначительные изменения Bs при увеличении температуры отжига от 600 до 700 °С отмечались для пленок СоТаС. Величина 5 для них приблизительно равна 1,35 Тл. В то же время при температуре отжига 500 °С магнитная индукция насыщения данных пленок заметно меньше и составляет около 1,25 Тл.

Среди рассматриваемых пленок кобальт-гафний-углеродистые пленки имеют наименьшую коэрцитивную силу Нc, слабо реагирующую на изменение температуры отжига. Для температуры отжига Тa= 600-700 °С величина Нс равна примерно 20 А/м. При Т = 750 °С Нс ≈ 35 А/м, а при более низкой температуре отжига (Ta = 500 °С) Нс = 25 А/м. Несколько большую коэрцитивную силу для всех значений температуры отжига имеют пленки СоТаС и CoZrC, для которых при температуре отжига 700 °С величина Нc соответственно равна около 30 и 40 А/м.

Магнитострикция насыщения λs рассматриваемых пленок отрицательна. Пленки CoHfC имеют самую малую величину Для них с увеличением температуры отжига приближается к нулю и при Г = 750 °С составляет примерно -1,8*10-6 (при Та — 500 °С)= -2,8*10-6). Приближение к нулю с повышением температуры отжига отмечалось и для пленок CoZrC и СоТаС, для которых Xs при температуре отжига 500 °С соответственно равна около -4*10-6 и -3*10-6. При более высокой температуре отжига (700 °С) данных пленок принимает меньшие значения, равные -3*10-6 и -2,5*10-6.

Интернет

Интернет

09.12.11

Развитие Интернета начинается с 1961 г., когда в США была создана экспериментальная сеть для оперативной передачи информации...

читать далее

Современные средства нанотехнологий

Принцип работы различных электронно-вычислительных машин, в том числе и персональных компьютеров, производимых на протяжении...

читать далее

Квантовые компьютеры

В модернизации элементной базы компьютеров, основанной на традиционном электронном принципе, есть фундаментальное...

читать далее